不只是洁净车间，任何设备都需要定期维护或临时维修。洁净车间的原则是：无论设备进行维护或维修时，都不能造成对车间的污染，结束后要清除设备外表面的污染，根据洁净车间工艺要求，必要时还要清除内表面的污染。
 1)进行维修的设备应先移出洁净车间再维修，以减少污染产生的可能性；
 2)应将需要维护的固≡定设备与周围的洁净车间隔离开来，再进行主要的维护或维修。如果有正在生产得，采取把所有正在制造的产品移往适当位置的措施；
 3)对于⊙正在维护、维修的设备相邻的洁净车间，适当加强监控，保证有效地控制交叉污染；
 4)在隔离区内进行维修、维护的工作人员，不应与无尘室的生产或操作人员发生接触；
 5)进人洁净车间维护或维修的工作人员，应遵循该洁净区的规范，穿着适当的洁净工作服及维修完成后对该区和设备按要求清洁；
 6)在技术人员需要躺下或爬到设备下面去维修时，先确定工作条件是否允许，若有化学品、酸或生物危险品应进行有效中和或适当处理后再开始维修工作；
 7)进行洁净车间维护、维修，应采↓取措施保护维修人员的洁净服不接触到设备上的润滑油或工艺用化学品等污染物，还应避免洁净服被备、工作的锐边撕破；
 8)洁净车间进行维护或维修工作用的全部工具、工具箱、小车等，在进入洁净车间前都应彻底地清洁，不得带入任何锈蚀的工具。若是进入生物无尘室，则还可能要求灭菌或消毒；
 9)洁净车间维修技术人员应避免把工具、各种零配件、损坏的零部件或清洁用的工具材料等任何物品，放置在产品或工艺材料用的工作表面附近，防止造成◢污染。
 10)维修工作过程中应该注意清洁，随时进行清洁工作，定期地更ζ换手套，避免因手 套破损，维修人员的皮肤接触设备洁净表面的情况发生；
 11)如果要求使用耐酸、耐热或耐切割型的ζ　非无尘室手套，那么这些手套应符合洁净车间要求或另套一副无尘室手套；
 12)如需进行钻、锯作业时，应使用专用的罩盖，把工具和进行钻、锯的区域遮蔽起来，同时使用洁净车间真空除尘器，及时吸走扬尘。
 13)要在洁净车间地面、墙面、设备侧板或其他表面钻孔后，留下的缝隙、孔洞，要采取密封措施，如用填料、粘合剂和特殊制造的板堵塞，以防止污染物经孔洞、缝∞隙扩散到洁净车间内。